电子行业的硅片能不能用干冰清洗机清洗?

日期: 2021-03-19

作为制作光伏电池和集成电路的基础,硅片能用干冰清洗机进行清洗吗?电子行业清洗的效果直接影响到光伏电池和集成电路最终的性能、效率和稳定性。由于硅材料的清洁度不够,出现问题甚至失效的比例达到50%,因此有必要对硅片的清洗工艺进行优化。

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硅片可以用干冰清洗吗?

当温度超过31.1℃,压力达到7.38mpa时,CO2处于超临界状态,可以实现气固转换。二氧化碳通过喷嘴突然从气缸中喷出,压力下降,体积迅速膨胀,二氧化碳的恒定焓发生变化。二氧化碳的气液混合物产生固体干冰颗粒,从而实现硅片的清洗。干冰颗粒去除颗粒物和有机物杂质的机理不同。

在去除颗粒杂质时,干冰颗粒与颗粒杂质弹性碰撞,产生动量传递,颗粒杂质被高速气流粉碎带走。当有机杂质被去除时,干冰颗粒与有机物发生非弹性碰撞,干冰颗粒液化并包裹有机物离开硅片表面,然后凝固并被高速气流带走。提出了一种新的干冰颗粒喷雾清洗技术,采用5N纯度、8Mpa CO2气源压力、11mpa喷嘴压力等清洗参数,最终获得了良好的清洗效果。

干冰清洗机干冰颗粒清洗技术是一种理想的清洗技术,对硅片表面无损伤,不会污染环境。

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